eds是指能谱仪。
能谱仪(EDS,Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。
指标：
固体角：决定了信号量的大小，该角度越大越好
检出角：理论隐尘培上该角度越大越好
探头：新型硅漂兄段移探测器（SDD）逐步取代锂硅Si(Li)探测器
能量分辨力：最高级别的能谱灶唯仪分辨力可达121eV
探测元素范围：Be4～U92
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