1、辐照是指高能粒子流(射线)。2、辐照剂量是指每单位物质质量所接受的辐射能量,称为剂量。3、辐照剂量常用“rad”做计量单位,读作拉德,或者“宏掘Gray”作为计量单位,读作戈瑞。4、辐照剂量与其它常用能量单位之间的关系为:1rad = 100erg/g = 6.24×1013eV/g,1Gray = 1J/kg = 100rad。5、整个材料或者器件所接受到的辐照剂量的总和,即称为总剂谨肢量(TID)。6、在半导体器件和IC的抗辐照技术中,有时还会用到所谓辐照的通量和积分通量的概念。通量就是指单位时间、照射到单位面积上的高能粒子的数目,单蔽晌核位是[粒子数/(cm2-s)];积分通量就是指在整个作用时间内、照射到单位面积上的高能粒子的数目,单位是[粒子数/cm2]。
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