就是需要穿着特定的无尘服在特别设计的房间内工作。
在将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给睁蠢哗予特别设计的房间。
无尘室等级标准
依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设悉行尘粒的尺寸不是0.5um,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。
例如:10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘档高室之洁净度必须优于1000级。
参考资料来源:百度百科–无尘室
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