帝编香旧置院根能花圆刻蚀相对光刻要容易。光刻机把室念课药法劳境环图案印上去，然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案（或者没有图案）的部分，留下剩余的部分。
“光刻”是指在涂满少但音协迫保细让凯异光刻胶的晶圆（或者叫硅片来自）上盖上事先做好360问答的光刻板，然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质，易于腐蚀。
“刻蚀”是光刻后，用腐蚀液将变质的那部分光及质课北剧友图缩刻胶腐蚀掉（正胶），晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀，形成半导体袁翻革器件及其电路。
扩展资料：
光刻机一般根据操作的简便性分为三种，手动、半自损场聚复防动、全自动
1.手动：指的是对准的调节方式，是通记怎庆江垂过手调旋钮改变它的X轴，Y汽区空扩轴和thita角度来完成对准，对准精度可想而知不高了；
2.半自动：指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐；
3久.自动：指的是从基板的上载下载，曝光时长和循环都是通过程序控制，自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。
参考单云送卷轻资料：百度百科-光刻机，百度百科-刻蚀
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